שיטות איטום לזרוע בום ריתוך

1. אטם פרופלואידי (מועדף עבור ואקום גבוה)

יישומים אופייניים:
מערכות ואקום גבוהות{{0}, כגון ריתוך קרן אלקטרונים וריתוך ואקום מדויק.

מאפיינים:

תומך בשניהםתנועה סיבובית וליניארית

שיעור דליפה נמוך במיוחד, מתאים למערכות המשתמשות במשאבות דיפוזיה

חיי שירות ארוכים עםחיכוך נמוך ויצירת חלקיקים מינימלית

מגבלות:

לא מתאים לסביבות-טמפרטורות גבוהות

רגיש לאבק מתכת או פסולת, מה שעלול להשפיע על ביצועי האיטום

2. אטם מפוח (עבור תנועה ליניארית בלבד)

יישומים אופייניים:
ריתוך שלוחות שנעות רק פנימהכיוונים ליניאריים(למשל, הרחבה אנכית או אופקית).

מאפיינים:

איטום הרמטי עם כמעט אפס דליפה

מְעוּלֶהעמידות בפני טמפרטורה ואבק

מבנה פשוט ואמין ביותר

מגבלות:

מאפשרתנועה ליניארית בלבד; לא יכול להכיל סיבוב

אורך השבץ מוגבללפי עיצוב המפוח

3. אטם אריזה / O-אטם טבעת (ואקום נמוך או צד אטמוספרי)

יישומים אופייניים:
מערכות ואקום גסות או ציוד ריתוך שאינו דורש ואקום גבוה.

מאפיינים:

עלות נמוכה והחלפה קלה

בשימוש נרחב במצבי איטום לא-קריטיים

מגבלות:

בְּכַּפוּף לְבלאי ויצירת חלקיקים

לא מתאים לסביבות-וואקום גבוהות

יכול להגביר את הסיכון לזיהום, במיוחד במערכות המשתמשות במשאבות דיפוזיה